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光刻技术的发明者,一手培训出荷兰ASML,美国为何没有光刻机?

发布时间:2021-11-16 22:12:02 所属栏目:大数据 来源:互联网
导读:受美方对中国半导体产业封锁力度越来越大、全球缺芯潮持续蔓延的影响,如今身为芯片制造业核心设备的光刻机可谓是无人不识。 在强劲的市场需求的推动下,光刻机供应商迎来业绩爆发期,尤其是几乎垄断全球市场的ASML,堪称躺着赚钱。 根据ASML公布的2021年第三
受美方对中国半导体产业封锁力度越来越大、全球缺芯潮持续蔓延的影响,如今身为芯片制造业核心设备的光刻机可谓是无人不识。
 
在强劲的市场需求的推动下,光刻机供应商迎来业绩爆发期,尤其是几乎垄断全球市场的ASML,堪称躺着赚钱。
 
根据ASML公布的2021年第三季度财务报告内容可知,该公司在报告期内实现营收52亿欧元,净利润为17亿欧元,毛利率高达51.7%。
 
光刻技术的发明者
 
不过,众人皆知,世界上唯一一家能够量产EUV光刻机的企业是荷兰ASML,但却鲜有人知,光刻技术的发明者是美国。
 
 
早在上个世纪五十年代中期,美国贝尔实验室便开始尝试将图像打印到硅片上。
 
在1957年,美国陆军Diamond Ordnance Fuse实验室的Jay Lathrop和James Nall,获得了光刻技术的专利。短短1年后,Jay Last和Robert Noyce更是利用光刻技术,在单个晶圆上制造出了晶体管。
 
自此,半导体和光刻技术的雏形已经诞生,后期光刻技术的发展则是由一家美国公司来实现。
 
笔者了解到,美国的GCA公司被称之为“光刻先驱”,是因为该公司创造出了第一款成功的晶圆步进器。所谓晶圆步进器,指的是上个世纪七八十年代的主流光刻工具,也可以看做是光刻机的前身。
 
得益于此,1978年前后,GCA获得了IBM、ATT、国家半导体以及西门子等大客户的支持。
 
而在1985年,GCA公司更是成功研制出了世界上第一台DUV步进器,当年的开发成本就达到1.4亿美元。
 
 
日本巨头崛起
 
由此可见,在那个年代,美国企业是全球半导体产业的长期引领者。
 
除了先驱GCA之外,美国还诞生了一家很重要的光刻公司——Cobilt,该公司研发出了机械对准器曾风靡一时。
 
但当投影打印对准器逐渐占据市场主导地位后,Cobilt的境况便急转直下,最终在1981年将光刻曝光工具业务出售给应用材料公司。
 
在上个世纪八九十年代,美国光刻技术虽然依旧占据领先地位,但日韩企业却在强势崛起。
 
佳能、尼康两家日本巨头,基于雄厚的光学技术基础,在光刻工具市场对美国企业造成了很大的威胁。
 
 
尤其是在八十年代后期,佳能和尼康的晶圆步进机性能远胜美国设备,连美国本土企业英特尔在进行一番衡量后,都选择了购买日本设备。
 
至此,美国光刻设备制造商彻底失去优势,即便是英特尔、摩托罗拉、IBM等美国巨头,联手援助另一家企业SVG,也没能让美国重新回到霸主地位。
 
1990年后,美国供应商在光刻工具市场的份额已经从90%跌至10%,日本巨头正式接管全球光刻市场。
 
但美国对此并不甘心,因此开始利用各种手段打压日本半导体产业,同时将一家欧洲光刻机制造商扶持起来,把佳能、尼康等拖下水,这家欧洲企业正是ASML。
 
 
一手培养出荷兰ASML
 
话说当年,荷兰ASML还是飞利浦旗下的一家不起眼的小企业,1992年时差点被飞利浦卖给SVG。
 
令人遗憾的是,当年SVG已经自身难保,后期更是被ASML用16亿美元的价格反收购。
 
随着美国光刻公司的落幕,吸收美国光刻技术的ASML强势崛起,一举打破了佳能、尼康在全球光刻机市场的垄断地位。
 
为了重新夺回主动权,美国更是在上世纪九十年代末期,集结了包括国立实验室、大学、公司在内的50多个单位,展开了对极紫外光源的研发。
 
 
荷兰ASML也有参与其中,并且在2006年将全球唯二的EUV曝光设备之一,交付给了美国相关研发中心,另一台交给了比利时微电子研究所。
 
自此,就是一部分读者熟悉的,ASML借助EUV光刻机的成神之路。在美国技术和资本的助力下,ASML彻底打败了尼康、佳能两大竞争者,一手掌握了60%以上的全球光刻设备市场份额。
 
美国为何没有光刻机?
 
纵观美国光刻技术的发展史可知,美国之所以没有光刻机,主要是因为在发展过程中受到了日本佳能和尼康的阻击。
 
彼时,日本半导体产业的实力也相当强悍,可以说不输美国,故而,美国企业没能克服外界挑战。
 
不过,这并不影响美国依旧将全球半导体行业的命脉掌握在手中,ASML虽然是荷兰企业,但其背后却有着美国华尔街资本的身影。

(编辑:东莞站长网)

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